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爐體真空系統介紹:
爐體真空系統由2H70滑閥泵2臺,ZJP1200、ZJ300羅茨泵各2臺,K-1000油擴散泵2臺及真空閥門、真空管道組成,真空測量儀表選用ZDF—III—LED復合真空計,爐體極限真空:1.0×10-3Pa,在油擴散泵油溫達到工作溫度大閥開啟后10分鐘真空度達到5.0×10-3Pa。
爐體工作真空度:5.0×10-2Pa~5.0×10-3 Pa。
電子束爐體真空系統展示:
電子束冷床垂直雙用爐
電子束雙槍垂直熔煉爐800kw
電子束垂直熔煉爐單槍300kw
電子束爐配電控制系統
電子束垂直熔煉爐雙槍700kw