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電子束熔煉的工藝特點是在高真空環境下進行熔煉(熔煉真空度一般在10-1至10-3Pa)，熔煉時熔池的溫度及其分布可控，熔池的維持時間可在很大的范圍內調整；熔煉是在水冷銅坩堝(結晶器)內進行的，可以有效地避免金屬液被耐火材料污染。因此可以說，電子束熔煉為一些金屬材料、特別是難熔金屬提供了一種不可缺少的精煉手段。
熔煉用爐應用Z多的電子束爐，主要用于特殊鋼及合金、特別是難熔金屬。
區域精煉爐這種爐子主要是用電子束將金屬料棒局部加熱熔化形成熔區來達到精煉的目的。因此種爐子無結晶器，故又稱為無坩堝懸浮區域精煉爐。它主要用于獲取高純金屬。
電子束凝殼爐這種爐子的結構和真空凝殼爐相同，它是在電子束熔煉爐的熔煉室內加入一套鑄造系統，用于真空鑄造，主要是鈦及鈦合金的真空鑄造。
多用途電子束熔煉爐德國公司發明了這種多用途電子束熔煉爐，即電子束連續流熔煉或電子束冷床熔煉爐。主要用于生產高純特殊鋼、鎳基和鈷基高溫合金，用海綿鈦及廢鈦生產純鈦錠和用直接滴流法生產難熔、活潑金屬及其合金。
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